日本德山公司开发出反应形式与迄今为止的工艺完全不同的制造太阳电池用多晶硅的基础技术。这一新技术采用了新概念的析出法,被称为“熔融析出法”(VLD)。VLD的特点是反应析出速度比原来的方法快得多。采用了将原料SiHCl3放在特殊的反应器中,从气体直接析出硅粒子的方法。用VLD法制造的多晶硅只用于太阳电池,不能用于半导体。德山公司还建造了一座最大年产为10t的中试厂,对该技术的实用性、生产能力、经济性等进行综合评定。
该公司之所以开发多晶硅制造新技术,是考虑了今后的多晶硅整体供需平衡问题。由于目前用于半导体的多晶硅的需求大幅减少,导致开工率下降,该公司将制造过程简化,将制造成本较低的硅供应太阳电池厂,以维持开工率。但太阳电池用多晶硅市场将以年20%~30%的速率增长,到半导体需求将回复的2004~2005年,预计多晶硅将出现明显不足。届时德山公司一方面要回复半导体需求方面的生产,一方面还要履行太阳电池厂家的生产合同,因
此将进退两难。若本次开发的多晶硅制造新技术能实现实用化,则能使半导体和太阳电池两方面的生产都顺利进行。